Hastighed, opløsning, 2D eller 3D - afhængigt af anvendelsen har producenterne forskellige prioriteter, når de inspicerer halvlederprodukter. Comet Yxlon tilbyder en række røntgen- og CT-inspektionssystemer, der er skræddersyet til specifikke inspektionsopgaver.
2D-radioskopi
- Hurtig billedgenerering, ideel til inspektioner undervejs i processen
- Hovedanvendelse: traditionel emballering
- Inspektion af simple wire bonds, vias og loddeknopper
- Fås med Cheetah og Cougar - det bedste billede på kortest tid med submikrometeropløsning
Computerlaminografi (CL)
- Bestemmelse af komponenters rumlige egenskaber samt placering og størrelse af defekter
- Vigtigste anvendelse: Avanceret emballage
- Stikprøveinspektion af flerlagspakker og integrerede enheder
- Fås til Cheetah og Cougar med lodret strålegang og højeste opløsning samt til FF20 CT- og FF35 CT-systemerne med vandret strålegang
3D computertomografi (CT)
- 3D-målinger til bestemmelse af rumlige egenskaber, defektposition og -dimensioner
- Hovedanvendelse: detaljeret defektanalyse
- Fås med FF20 CT- og FF35 CT-systemerne med intuitiv betjening takket være Geminy-brugergrænsefladen og som add-on med Cheetah og Cougar
- CT-metrologi